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主轴径向回转精度的测量方法

放大字体  缩小字体 发布日期:2012-04-18  浏览次数:1975

超精密空气主轴(以下简称主轴)可用作超精密加工机床或高精度计量仪器的主轴系统。主轴采用先进的气体静压技术,径向轴承和双向止推轴承的各工作面均为静压气浮面,且经过严格的动平衡,因而实现了非接触的高精度回转,具有无振动、低噪音的特点。

由于气膜对轴系零件加工误差的平均作用,因而轴系装配后的回转精度可以高于零件精度。对主轴主要技术指标——主轴径向回转精度要求达到小于0.1μm。这样高精度的指标,即使加工出来了,也难以测量出它的精度,因而给测量带来了极大的困难。通过几年的摸索、研究,终于用双向转位法测出了主轴径向回转精度(0.07μm)。现将测量方法介绍给读者。

1 检测

1.1 检测条件

环境温度:20±1℃ 每小时变化:<0.1℃

相对湿度:30%~60%

被测主轴在恒温室内定温时间不少于24h;

被测主轴与标准器具的温差不大于0.2℃;

被测主轴需安置在隔振基础上,周围无剧烈振动和冲击;供气压力稳定在0.4±0.02MPaq

1.2 检测用仪器和器具

① TESA电感测微仪(瑞士)(分辨率0.01μm),


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